Kas ir fotolitogrāfija?
Fotolitogrāfija ir viens no svarīgiem procesiem integrālo shēmu (IC vai mikroshēmu) ražošanā. Vienkārši sakot, tas ir ķēdes modeļa kopēšanas process uz substrāta, izmantojot fotomasku un fotorezistu.
Pamatne tiks krāsota uz silīcija dioksīda izolācijas slāņa un fotorezista. Fotorezistu var viegli izšķīdināt ar attīstītāju pēc tam, kad tas ir pakļauts UV gaismai, pēc izšķīdināšanas un kodināšanas ķēdes raksts tiks atstāts uz pamatnes.
Kas ir fotorezists? Kāpēc 500 nm UV viļņa garums ir jābloķē?
Fotorezists tiek kombinēts ar sveķiem, šķīdinātājiem un piedevām. Fotorezista gaismas jutīgais diapazons ir 200 nm-500 nm. Tāpēc daudzas pusvadītāju laboratorijas izmantos dzelteno gaismu, kas bloķē 500 nm UV viļņa garumu, lai novērstu fotorezista pārmērīgas vai priekšlaicīgas eksponēšanas situācijas.
